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全自動擴散爐
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產品詳情
一．設備概述：
全自動擴散爐采用電腦工控機軟件控制方式，該設備用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝。設備主要適合于3-6英寸工藝硅片的處理，具有多條工藝曲線，調用方便快捷；運行中，具有停電記憶功能觸摸微機界面，操作方便；具有超溫保護功能。
二．設備主要特點和優勢
1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
2★采用可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償，避免環境溫度變化，對爐膛溫度產生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制，避免馬達丟步，運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期，自動校準位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量控制精確，采用模擬信號閉環控制，強弱電分開，各種數據交互采用標準總線，提高抗干擾能力，保證數據安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報警功能及安全保護功能；
9★恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
三．設備參數類型：
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方式：
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左/右手操作方式，大工作臺面（側面采用高效凈化）
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可配工藝管數量：
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1-5管系統
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凈化臺潔凈度：
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100級（10000級廠房）
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氣體流量控制：
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均用MFC控制
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送取片方式：
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自動推拉,采用碳化硅漿推拉舟,軟著陸方式
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使用類型：
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3-6寸爐管
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工作溫度：
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600～1290℃
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爐管有效口徑:
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￠150-300mm
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總功率：
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18-28KVA/管 保溫功率：8-15KVA/管
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三相五線制：
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380V±10%，50Hz±10%，次級線不小于35平方高溫線
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報警:
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具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能
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恒溫區長度及段數：
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400-1100mm（3-5段控溫）
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控溫精度：
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±0.5℃（≧1000℃）
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單點溫度穩定性：
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±1℃/12h
+ / - 1 ℃ / 12 h
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控溫方式：
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工控機 + PLC控制 + 觸摸屏
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熱偶類型:
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熱電偶采用S/R型，每管Spike 4-10支熱偶
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******可控升溫范圍：
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(500～1285℃)0--15℃/min
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******可控降溫范圍：
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(1285～500℃)0--10℃/min
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設備總外形尺寸：
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根據設備配置不同,尺寸有所不同
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四．主要構成：
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1、
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設備主機
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2、
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加熱系統
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3、
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排風冷卻系統
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4、
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排毒箱（和設備主機做為一體）
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5、
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凈化工作臺
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6、
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控制系統
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7、
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自動碳化硅漿推拉舟機構
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