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      半導體專用設備
       

       
      擴散爐系列
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      LED合金爐


      產品詳情


      LED合金爐特點  :

      ◆ 關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性

      ◆ 具有可編程的升、降溫功能        

      ◆ 具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

      ◆ 具有高抗干擾能力

      ◆ 具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置   

      ★ 育豪可為您提供斜滾式推拉舟系統,石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統。

      ★可配工藝管數量:1~4管/臺;       

      ★工作溫度范圍:200~1000℃;

      ★恒溫區長度及精度:300~900mm     600~1000℃±0.5℃;

      ★單點溫度穩定性:600~1000℃±0.5℃/24h;    

      ★******可控升溫速度:15℃/min

      ★******降溫速度:15℃/min

       
       
      總經辦電話:13805320424    全國咨詢電話:400 0532 778
       
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