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      砷化鎵工藝設備
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      單晶脫氧爐


      用途
      此設備實用與2—4英寸砷化鎵脫氧的完善設備,全自動控制系統,手動操作(可進行2-4 英寸GaAs脫氧工藝)。
      主要技術指標
      ♦外型形式:單管臥式結構
      ♦最高設計溫度:1000℃
      ♦使用溫度范圍:100℃——1000℃
      ♦恒溫區長度:600mm。
      ♦工藝石英管外徑: 2-4寸 。
      ♦溫度控制:育豪研發YH-8500系統(全自動觸摸屏控制)
      ♦恒溫區精度:≤±1℃/600mm(工作范圍內)
      ♦單點溫度穩定性:≤±1℃/24h
      ♦溫度重復性:≤±1℃/24h
      ♦斜變能力:******可控升溫速率15℃/min,******可控降溫速率:5℃/min
      ♦總功率:20KW。
      ♦保溫總功率:低于9KW。
      ♦Spike外控溫熱偶:K分度.
      ♦工作真空度:≤10X10-4Pa
      ♦密封性能:漏氣率≤1X10-7Pa·m3/s
      ♦真空機組:初級泵采用機械泵,二級泵采用無油分子泵
      ♦真空閥門:全自動電磁真空蝶閥
      ♦氣路系統氣密性:1X10-7 Pa·M3/S
      ♦報警系統:超溫報警、斷偶報警、真空故障報警、真空室壓力異常報警、
      ♦控制方式:程序控制溫度(整套采用觸摸屏控制)
      ♦電源:二相三線220V。
      ♦預留一路放氣口。
       
      總經辦電話:13805320424    全國咨詢電話:400 0532 778
       
      EMAIL:qdyuhaodz@126.com     網址:www.gaoliangba.com
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