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      半導體專用設備
       

       
      擴散爐系列
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      高溫擴散爐


       

       

      一.設備概述:
       高溫擴散爐采用電腦工控機軟件控制方式,該設備主要在高溫1300℃狀態下用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、燒結等工藝。設備主要適合于4-6英寸工藝硅片的處理

      二.設備主要特點和優勢
       1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間;
       2★采用可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化;
       3★程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間;
       4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;
       5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾;
       6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制,避免馬達丟步,運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差;
       7★氣體流量控制精確,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能;
       8★具有多種報警功能及安全保護功能;
       9★恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;

      三.設備參數類型:

      方式:

      左/右手操作方式,大工作臺面(側面采用高效凈化)

      可配工藝管數量:

      1-5管系統

      凈化臺潔凈度:

      100級(10000級廠房)

      氣體流量控制:

      均用MFC控制

      送取片方式:

      自動推拉,采用碳化硅漿推拉舟,軟著陸方式

      使用類型:

      4-6寸爐管

      工作溫度:

      600~1290℃

      爐管有效口徑:

      ¢180-350mm

      總功率:

      18-35KVA/管保溫功率:8-15KVA/管

      三相五線制:

      380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線

      報警:

      具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能

      恒溫區長度及段數:

      400-1100mm(3-5段控溫)

      控溫精度:

      ±0.5℃(≧1000℃)

      單點溫度穩定性:

      ±1℃/12h

      控溫方式:

      工控機 + PLC控制 + 觸摸屏

      熱偶類型:

      熱電偶采用S/R型,每管Spike 4-10支熱偶

      ******可控升溫范圍:

      (500~1300℃)0--15℃/min

      ******可控降溫范圍:

      (1300~500℃)0--10℃/min

      設備總外形尺寸:

      根據設備配置不同,尺寸有所不同

      四.主要構成:

      1、

      設備主機

      2、

      加熱系統

      3、

      排風冷卻系統

      4、

      排毒箱(和設備主機做為一體)

      5、

      凈化工作臺

      6、

      控制系統

      7、

      自動碳化硅漿推拉舟機構

       

       
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