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      半導體專用設備
       

       
      擴散爐系列
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      氫氧合成擴散爐


       產品詳情


      一.設備概述:
       本設備主要用于集成電路、電力電子等行業的關鍵電子專用設備,氫氧合成是將3-6英寸硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進行高溫熱處理,在硅片表面形成氧化膜的過程,氧化工藝是集成電路工藝中應用最廣泛的基礎工藝之一,氧化膜的用途廣泛,可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層(損傷緩沖層)、表面鈍化、絕緣柵材料以及器件保護層、隔離層、器件結構的介質層等制程濕氧工藝,采用電腦工控機軟件控制方式,是其性能技術指標已經達到國際先進技術水平。 
       
       二.設備類型參數:

      方式:

      左/右手操作方式,大工作臺面(側面采用高效凈化)

      可配工藝管數量:

      1-5管系統

      凈化臺潔凈度:

      100級(10000級廠房) 

      氣體流量控制: 

      均用MFC控制 

      氣路流量設定精度:

      ±2%FS

      送取片方式: 

      自動推拉,采用Sic漿推拉舟,軟著陸方式 

      推拉桿行程 

      1800mm-2100mm

      速度: 

      20mm-1000mm/min

      承重: 

      ≥15kg

      冷卻系統:

      水冷2-4Kgf/cm2,8L/min;+上接排風冷≈25m3/min; 

      使用類型: 

      3-6寸爐管 

      可加工硅片尺寸

      3-6英寸

      工作溫度: 

      500~1100℃ 

      爐管有效口徑:

      ¢150-240mm

      總功率: 

      15-28KVA(單管)   保溫功率:8-15KVA

      三相五線制: 

      380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線 

      報警:

      具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能 

      恒溫區長度及段數: 

      800-1100mm(3-5段控溫) 

      控溫精度: 

      ±1℃(≧1100℃) 

      單點溫度穩定性: 

      ±1℃/12h

      控溫方式: 

      工控機 + PLC控制 + 觸摸屏 

      熱偶類型:

      熱電偶采用S/R型,每管Spike 4-10支熱偶 

      ******可控升溫范圍: 

      (600~1100℃)0--15℃/min

      ******可控降溫范圍: 

      (1100~600℃)0--10℃/min

      設備總外形尺寸: 

      根據設備配置不同,尺寸有所不同 

      三.主要構成:

      1、

      設備主機

      2、

      加熱系統

      3、

      排風冷卻系統

      4、

      排毒箱(和設備主機做為一體)De

      5、

      凈化工作臺

      6、

      控制系統

      7、

      自動石英漿推拉舟機構

      8、

      點火系統 

      四.設備主要特點和優勢
       1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間;  
       2★采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化; 
       3★程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間;  
       4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;  
       5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾;  
       6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制,避免馬達丟步,運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差;  
       7★氣體流量采用數字化精確控制,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能;  
       8★具有多種報警功能及安全保護功能;  
       9★恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;  
       10★壓力自動調整技術,將壓力參數引入晶體硅擴散/氧化/氫氧合成工藝,有效減小了尾部排風對工藝的干擾,減小由排風引起的工藝波動。 

       
       
      總經辦電話:13805320424    全國咨詢電話:400 0532 778
       
      EMAIL:qdyuhaodz@126.com     網址:www.gaoliangba.com
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